• <nav id="s60o0"></nav>
  • MEMS傳感器優勢及市場用途:質量流量計

    MEMS傳感器優勢及市場用途:質量流量計

    2022-02-09

    MEMS是微機電系統,英文全稱是MicroElectromechanicalSystem,。是指尺寸在幾毫米乃至更小的傳感器裝置,其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。簡單來說,MEMS就是將傳統傳感器的機械部件微型化后,通過三維堆疊技術,例如三維硅穿孔TSV 等技術把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根據不同的應用場合采用特殊定制的封裝形式,最終切割組裝而成的硅基傳感器。受益于普通傳感器無法企及的IC 硅片加工批量化生產帶來的成本優勢,MEMS 同時又具備普通傳感器無法具備的微型化和高集成度。

    產品主圖201.png

    MEMS主要涉及微加工技術,機械學/固體聲波理論,熱流理論,電子學,生物學等等。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米,相比之下頭發的直徑大約是50微米。

    MEMS傳感器主要優點是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等,是微型傳感器的主力軍,正在逐漸取代傳統機械傳感器,在各個領域幾乎都有研究,不論是消費電子產品、汽車工業、甚至航空航天、機械、化工及醫藥等各領域。

    2 、MEMS是替代傳統傳感器的唯一選擇

    模擬量到數字化、大體積到小型化以及隨之而來的高度集成化,是所有近現代化產業發展前進的永恒追求。MEMS被看作是替代傳感器的唯一可能選擇,也可能是未來構筑物聯網感知層傳感器最主要的選擇之一。其有以下優勢:

    優勢一:微型化


    MEMS器件體積小,一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位,重量輕、耗能低。同時微型化以后的機械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應時間短等優點。MEMS更高的表面體積比可以提高表面傳感器的敏感程度。

    優勢二:批量生產


    以單個5mm*5mm 尺寸的MEMS 傳感器為例,用硅微加工工藝在一片8 英寸的硅片晶元上可同時切割出大約1000 個MEMS 芯片,批量生產可大大降低單個MEMS 的生產成本。

    優勢三:集成化


    一般來說,單顆MEMS 往往在封裝機械傳感器的同時,還會集成ASIC 芯片,控制MEMS芯片以及轉換模擬量為數字量輸出。微傳感器、微執行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩定性很高的MEMS。隨著 MEMS的工藝的發展,現在傾向于單個MEMS 芯片中整合更多的功能,實現更高的集成度。

    優勢四:多學科交叉


    MEMS 涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科,并集約了當今科學技術發展的許多尖端成果。MEMS是構筑物聯網的基礎物理感知層傳感器的最主要選擇之一。

    由于物聯網特別是無線傳感器網絡對器件的物理尺寸、功耗、成本等十分敏感,傳感器的微型化對物聯網產業的發展至關重要。MEMS 微機電系統結合兼容傳統的半導體工藝,采用微米技術在芯片上制造微型機械,并將其與對應電路集成為一個整體的技術,它是以半導體制造技術為基礎發展起來的,批量化生產能滿足物聯網對傳感器的巨大需求量和低成本要求。

    國內MEMS 行業的fabless 規模相對較小,但市場規模來說具備很大的發展空間。面對國內巨大的消費電子市場,自產自銷滿足國內部分中低端市場需求,也是國內Fabless 司的一個捷徑。中國MEMS 設計企業主要集中于華東地區,約占全國企業總數的55%,其中,以上海、蘇州、無錫三地為產業集中地。

    從市場來看,中國擁有全球規模最大的集成電路市場,加之物聯網的催化,國內市場對加速度計、高精度壓力傳感器、硅麥克風、陀螺儀、射頻儀器、氣體傳感器、電子羅盤等MEMS器件的需求日益迫切。

    MEMS產業鏈復雜,涉及的廠商眾多,設計、制造、封裝測試廠商都在積極布局MEMS,目前我國已逐漸形成完整MEMS的產業鏈。

    C款.png

    首頁
    關于我們
    商城
    聯系
    x